1、前言

        在光電元器材封裝設備和集成型三極管施工工藝中，素材、晶圓、基帶芯片的各種各種考試英文是必不可不可以少的部分。不斷地光電元器材封裝設備各種各種考試英文技術采用的未來發展，號碼源表SMU綜合電極臺的裝置組合構成現已被大量采用于素材/小元器材封裝的電學形態安全驗證中。號碼源表SMU具備著源測特點，可不可以誕生電阻電流-電阻(I-V)形態的身材曲線，是光電元器材封裝設備素材、元器材封裝電耐熱性研究方法檢測的主導；電極臺有速騰一鍵檔、半一鍵和全一鍵這幾種，據各種各種考試英文需要進行模塊化的廠品就可以了。在所采用需要要留意電極的所選原材料或針尖的直勁與圖形，電極所選原材料其他，其電阻值可是相似；不僅而且，電極尖磨壞和污染源也會對各種各種考試英文可是誘發關系。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、檢測器、DUT鏈接示意圖

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        探頭臺與源(yuan)表的接觸典型有有兩(liang)種，一(yi)款用(yong)(yong)到(dao)(dao)同中(zhong)(zhong)線(xian)(xian)接觸，另外一(yi)個款用(yong)(yong)到(dao)(dao)三同中(zhong)(zhong)線(xian)(xian)接觸。當測量小(xiao)功(gong)率(nA、pA)時，應用(yong)(yong)到(dao)(dao)三同軸接轉輸出模(mo)塊和三同中(zhong)(zhong)線(xian)(xian)纜。在連(lian)結源(yuan)表護(hu)理(li)措施低端(duan)試(shi)驗圖片三極(ji)管中(zhong)(zhong)，可能(neng)三同軸的護(hu)理(li)措施層與內芯兩(liang)者(zhe)是等電勢差，不會(hui)出現漏(lou)功(gong)率產生，才能(neng)提高自己小(xiao)功(gong)率試(shi)驗圖片控制精度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2絕緣性；3內閉屏層；4期間層；5外閉屏層；6外護線套）

圖：三同定位軸線纜等效線路圖

  上圖如下圖所示為三同基準面纜等效電路系統圖，讀取高端大氣HI和Guard區間內的電極電位差可以說為0，為了解決電纜線內在的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S國產電流源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸相聯接器與一般兩芯相聯接器為之不同的，可互相接駁電磁波、接地保護和屏避層，屏避感覺好。和多芯纜線想必，三同軸纜線架構簡約，安全高朝；和兩芯同軸纜線想必，具備著更強的屏避特點和小電磁波的視頻傳輸能力素質。三同軸纜線的相進行對接措施動用了GUARD電磁波，體現了了屏避的功效，更有效于小電磁波的檢測的。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

實用杜邦線轉BNC母頭采取相連接；

- 三同軸連接 -

實用三同軸呼叫轉移模塊圖片對其進行接連。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

簡單應用三同中線去無線連接；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將各種類型的三同軸更換為髙壓用三同水平線；壓力三同軸接線頭的耐壓試驗性功能極強，普賽斯選擇的壓力三同軸接線頭可能耐壓試驗性3500V。

圖：左-直流電三同軸、右-平民三同軸

HCPL 100大電流源表

大直流電在測量時，單根電極限制值的直流電有限制的，直流電過大可能會會引發的燒針情況，危害測試儀結論，以至于必須 運行多電極串并聯。

圖：多檢測器串聯圖示

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面電極片聯接關心

圖：異面(mian)電極片(pian)連入(ru)舉手

4、測試注意事項

-探針臺接地：探(tan)針(zhen)臺(tai)結構(gou)上有很多金(jin)(jin)屬，在(zai)帶(dai)(dai)電(dian)的(de)環境下會存在(zai)很強的(de)靜(jing)電(dian)，一(yi)般探(tan)針(zhen)臺(tai)會自(zi)(zi)帶(dai)(dai)大(da)地(di)(di)連接(jie)線(xian)，使用中將探(tan)針(zhen)臺(tai)接(jie)大(da)地(di)(di)，避免釋放靜(jing)電(dian)給測試(shi)帶(dai)(dai)來影響(xiang)。一(yi)般地(di)(di)線(xian)分為(wei)兩類：一(yi)種(zhong)是(shi)工(gong)(gong)作(zuo)接(jie)地(di)(di)，另(ling)一(yi)種(zhong)是(shi)安全性(xing)接(jie)地(di)(di)。工(gong)(gong)作(zuo)接(jie)地(di)(di)是(shi)把金(jin)(jin)屬導體銅(tong)塊(kuai)埋在(zai)土壤里， 再(zai)通過導線(xian)引(yin)出地(di)(di)面，將導線(xian)接(jie)入設(she)備的(de)接(jie)地(di)(di)端口，形(xing)成接(jie)地(di)(di)回路。 安全性(xing)接(jie)地(di)(di)是(shi)指(zhi)使用探(tan)針(zhen)臺(tai)金(jin)(jin)屬外殼自(zi)(zi)帶(dai)(dai)的(de)接(jie)地(di)(di)線(xian)進行接(jie)地(di)(di)，當探(tan)針(zhen)臺(tai)金(jin)(jin)屬外殼發生絕緣損壞，外殼帶(dai)(dai)電(dian)時，電(dian)流沿著(zhu)其外殼自(zi)(zi)帶(dai)(dai)的(de)接(jie)地(di)(di)線(xian)接(jie)入大(da)地(di)(di)，以達(da)到安全的(de)目(mu)的(de)。

-連接線接地：探針(zhen)臺的(de)連接線為(wei)同軸(zhou)線，兩(liang)根同軸(zhou)線的(de)內芯是(shi)信號線，從而導致(zhi)兩(liang)根同軸(zhou)線的(de)外屏蔽層懸空，未起到屏蔽的(de)作用，在磁場環(huan)境復雜的(de)情況下會對(dui)測(ce)試產(chan)生(sheng)較大的(de)干擾(rao)。因(yin)此(ci)，為(wei)了獲得較好的(de)測(ce)試效果，需要將同軸(zhou)線纜的(de)外屏蔽層接入工作地線。

-關閉光源：很(hen)多器件和材(cai)料對光源敏感(gan)，測(ce)試中如果不(bu)關閉(bi)光源會影(ying)響(xiang)測(ce)試結果，所以(yi)測(ce)試時盡量在無光源影(ying)響(xiang)的環(huan)境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果(guo)測試電(dian)流(liu)為pA級別，需要給探針臺增加(jia)屏蔽罩(zhao)。

-異面電極材料連接：異面電極(ji)材料連(lian)接時通常(chang)會(hui)使用探針(zhen)臺Chuck盤(pan)做電極(ji)，但是Chuck盤(pan)的平(ping)整(zheng)度會(hui)對材料的接觸面有影響，那(nei)么此時就需要使用引電極(ji)。